电子工厂高级别洁净室的节能问题

因为微电子、光电子等电子工厂高级别洁净室的净化送风量较大，工艺设备的排风量大，新风量大，温湿度精度很高，所以净化空调消耗的能量很大，运行费用很高，这种情况在深圳厂房装修中比较常见。

上海的超大规模集成电路前工序生产中心洁净度面积10000平方米，其净化送风量为6400000立方米每小时，送风量的风机耗电量为3840kw，全年电费为1659万元，如果按每度电0.6元计算，空调的热湿处理耗电量为8000kw全年电费为3456万元。全年净化空调的电费加在一起为5115万元，折合每平方米面积一年的电费为5115元每平方。

深圳某TFT基板生产线的厂房面积为800平方米，仅仅净化空调系统全年耗电高达1060kw，其中风机耗电300kw，空气热湿处理耗电760kw，全年电费为460万元，折合每平方米面积每年的电费为5750元每平方米。

因此，我们能够得出，这样高级别的净化电子工厂的洁净室为了保证室内的温度和湿度、洁净度，其净化空调系统的能耗很高，其单位面积一年的电费就高达5000元平方米每年，可见净化空调的运行费用相当昂贵。怎样才能节能以及环保，将是业内人士要解决的一个重大问题。