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规定在重要场合应该采用洁净室参数连续监测以及监控的深圳厂房装修工程,首先是对粒子浓度、压差、风速和空气的温湿度。此外,还要监测静电电荷的数量。
这样就可以在完成工艺加工过程中实时监控受控参数,测量和保存每批产品制造的周期内的环境状态数据。
监控系统的组成如下:敏感装置;整理敏感输出数据的控制器,调度员和工程部门负责人的个人电脑等,这些电脑用来接收和处理受控参数的数据。
粒子浓度监控器可以两种方式工作:
1. 利用装设在每处取样点的粒子计数器。此时在取样点处形成包含必要信息的电信号,并将其输入控制器。
2. 以多支管式干管为基础的进行监控,即把来自取样点的各支管接到干管。再由干管通过阀门依次将支管接至粒子计数器,每取一次样,都只开启一处阀门。可采用自动式转换阀门。
和第一种方法相比,第二种方法更为简单和经济,因为在这一系列中,可达到32台敏感装置上仅仅需要一台计数器。但是这种方法需要再敏感装置与干管之间铺设真空管网,为此限制了敏感装置与干管之间的距离。
粒子计数器的标定
粒子计数器不属于测量仪器,是量具或者指示器,它不属于粒子的粒径,仅仅是将粒径分类,将大于或者等于给定粒径分离出来。然后对粒径符合上述条件的粒子进行计数。
根据经验,都是按照制造公司厂商指定的标定方法,由制造公司厂商自己,或者其代理商,或拥有相关仪器的机构对粒子计数进行标定。